分解硫氟化合物的装置及其方法

摘要

本发明提供一种分解硫氟化合物的方法及装置，在较低的反应温度下，通过两步分解硫氟化合物，以形成高水溶性的化合物，接着再以水洗的方式去除废气中的硫氟化合物。

主权项

1.一种分解硫氟化合物的方法，包括下列步骤：提供硫氟化合物与第一催化剂接触，以分解该硫氟化合物形成第一分解物；以及提供第二催化剂与该第一分解物接触，以分解该第一分解物形成第二分解物，其中该第二分解物可溶于水，优选所述硫氟化合物包括：SF6、SO2F2 或SOF2。