| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种适于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体涉及一种包含由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、重氮类感光性化合物、有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，具有优异的耐热性及分辨率，且可提高图案均匀性。所述酚醛清漆树脂由芳香族醇聚合而成，所述芳香族醇包含间甲酚、对甲酚、间苯二酚。 | ||
| 申请公布号 | CN101071266A | 申请公布日期 | 2007.11.14 |
| 申请号 | CN200710096933.5 | 申请日期 | 2007.04.19 |
| 申请人 | 株式会社东进世美肯 | 发明人 | 金东敏;金柄郁;朴大然;金周赫;崔基植;金贞元;李起范;卞哲基;金纹秀;金炳厚;边滋勋;申在浩 |
| 分类号 | G03F7/016(2006.01);G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | G03F7/016(2006.01) |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱梅;徐志明 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂组合物，其特征在于，该组合物包含：a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂；b)重氮类感光性化合物；c)有机溶剂，化学式1<img file="A2007100969330002C1.GIF" wi="696" he="360" />在上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。 | ||
| 地址 | 韩国仁川市 | ||