微影系统及用于组装微影系统的方法

摘要

揭示一种微影系统中反应负荷的管理方法、系统及设备。一隔离结构被一非隔离结构支撑，此隔离结构则支撑着一移动台座。一线性马达包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，此第一线性马达组件被连接到该移动台座上。藉由多数挠曲板而将第二线性马达组件安装在该隔离结构上，一挠曲杆系连接在隔离结构与第二线性马达组件之间。

主权项

1.一种微影系统，包含：一隔离结构，被一非隔离结构支撑，其中该隔离结构则支撑着一移动台座；一线性马达，包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，其中该第一线性马达组件被连接到移动台座上；多数挠曲板，用以将该第二线性马达组件安装在该隔离结构上；及一挠曲杆，被连接在该非隔离结构与该第二线性马达组件之间。