发明名称 一种光致抗蚀膜的退除剂
摘要 一种光致抗蚀膜的退除剂,它的重量百分比组成是:复合有机碱10%-30%;聚醚类活性剂1%-5%;碎膜剂1%-5%;铜缓蚀剂0.1%-1%;去离子水60%-70%;所述复合有机碱是具有化学式X-R-NH<SUB>2</SUB>的有机胺中的至少两种,X为H、NH<SUB>2</SUB>或OH,R为亚烷基;聚醚类活性剂为环氧乙烷与环氧乙烷的嵌段共聚物或无机共聚物中的至少一种;碎膜剂为长碳链的脂肪胺;铜缓蚀剂为苯并三氮唑及其衍生物的中的至少一种。本发明退膜性能好,其退膜速率高,退膜量大,使用成本低,无锡迁移、铜腐蚀,不玷污纯锡、金、银表面,退膜时对金属层具有优异的保护性能,特别适合挠性线路和精细线路等高端印制板的制作,生产使用均安全环保。
申请公布号 CN101071278A 申请公布日期 2007.11.14
申请号 CN200610031646.1 申请日期 2006.05.12
申请人 湖南省科学技术研究开发院 发明人 饶桂春;汤明坤;罗新辉;谭丽霞
分类号 G03F7/42(2006.01) 主分类号 G03F7/42(2006.01)
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 马强
主权项 1、一种光致抗蚀膜的退除剂,其特征是,它的重量百分比组成是:复合有机碱 10%-30%;聚醚类活性剂 1%-5%;碎膜剂 1%-5%;铜缓蚀剂 0.1%-1%;去离子水 60%-70%;其中,所述复合有机碱是具有化学式X-R-NH2的有机胺中的至少两种,X为H、NH2或OH,R为亚烷基;所述聚醚类活性剂为环氧乙烷与环氧乙烷的嵌段共聚物或无机共聚物中的至少一种;所述碎膜剂为长碳链的脂肪胺;所述铜缓蚀剂为苯并三氮唑及其衍生物的中的至少一种。
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