发明名称 |
具有表面波传感器的压力传感器 |
摘要 |
本发明涉及一种压力传感器,其测量单元(10)配备至少一个用于保护压力灵敏的元件(12)的膜片(11a、11b)以及填充压力介质的测量腔(14a、14b),所述元件(12)安装在测量腔内。根据本发明,为了监测膜片(11a、11b)的损坏,在填充压力介质的测量腔内设置至少一个表面波传感器(15a、15b、16a、16b)。当膜片(11a、11b)损坏时过程介质混入压力介质内。由此导致表面波传感器的灵敏区域的物质变化,其表现为偏差的信号行走时间。每个信号行走时间变化都指示压力传感器的损坏,或可作为这样的信号发出。 |
申请公布号 |
CN101072987A |
申请公布日期 |
2007.11.14 |
申请号 |
CN200580041960.1 |
申请日期 |
2005.12.23 |
申请人 |
ABB专利有限公司 |
发明人 |
W·舒尔茨;A·加施;R·米兰诺维克;P·莱格勒 |
分类号 |
G01L9/00(2006.01);G01L13/02(2006.01);G01L19/00(2006.01);G01L19/06(2006.01);G01M3/24(2006.01) |
主分类号 |
G01L9/00(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
张兆东 |
主权项 |
1.压力传感器,具有至少一个膜片用于保护压力灵敏的元件,所述元件安装在填充压力介质的测量腔内,其特征在于,在每个测量腔(14a、14b)内设置至少一个压力介质润湿的表面波传感器(15a、15b)。 |
地址 |
德国拉登伯格 |