可自检微机械热电堆生物反应热探测器及制备方法

摘要

一种可自检微机械热电堆生物反应热探测器，为轴对称结构，在硅衬底的一面上依次有氧化硅和氮化硅绝缘层；在氮化硅绝缘层上并排两组由两种不同金属首尾相连构成的热电偶，该两组热电偶成轴对称状，在轴线上及两组热电偶的两侧各有一条状电阻为自检元件；邻近轴线的热电偶侧为热端，另一侧热电偶为冷端；冷端和热端下面的硅衬底另一面均有热隔离槽；两组热电偶的一端有预热线圈。其制备方法：硅片上制备二氧化硅和氮化硅的制备；制备第一种和第二种热电堆材料、自检材料用预热圈；背面深刻蚀，完成热电堆的制备；制备方法采用常规MEMS工艺，只需3～4张掩膜版，加工成品率高，可批量生产。

主权项

1.一种可自检微机械热电堆生物反应热探测器，为轴对称结构，在硅衬底的一面上依次有二氧化硅和氮化硅绝缘层；在氮化硅绝缘层上并排两组由两种不同金属首尾相连构成的热电偶，该两组热电偶成轴对称状，在轴线上及两组热电偶的两侧各有一条状电阻为自检元件；邻近轴线的热电偶侧为热端，另一侧热电偶为冷端；冷端和热端下面的硅衬底另一面均有热隔离槽；两组热电偶的一端有预热线圈。