发明名称 |
电化学方法和用于电化学方法的设备 |
摘要 |
一种电化学方法,其包括:提供125mm或更大的与导电表面电学接触的半导体晶片,其中半导体晶片至少一部分与电解质溶液接触,所述半导体晶片用作第一电极;在电解质溶液中提供第二电极,将第一和第二电极连接到电源的相对端上;以及当在第一和第二电极之间施加电流时用光源照射半导体晶片的表面。本发明还旨向于包括光源和实施该电化学方法的电化学组件的设备。 |
申请公布号 |
CN101070602A |
申请公布日期 |
2007.11.14 |
申请号 |
CN200710088127.3 |
申请日期 |
2007.03.15 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
维尔拉拉哈文·S.·巴斯克;哈里卡利亚·得里格亚尼;约翰·M.·库特;玛特奥·弗洛塔 |
分类号 |
C25D7/12(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/445(2006.01) |
主分类号 |
C25D7/12(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
秦晨 |
主权项 |
1.一种电化学方法,其包括:提供125mm或更大的与导电表面电学接触的半导体晶片,其中半导体晶片至少一部分与电解质溶液接触,所述半导体晶片用作第一电极;在电解质溶液中提供第二电极,将第一和第二电极连接到电源的相对端上;以及当在第一和第二电极之间施加电流时用光源照射半导体晶片的表面。 |
地址 |
美国纽约 |