发明名称 一种气体质量流量计
摘要 本实用新型公开了一种气体质量流量计,包括检测嘴、由MEMS传感器检测模块构成的一次仪表和由微处理器构成的二次仪表,其特征在于,二次仪表主要由微控制器模块、输出模块、电源模块、存储模块、信号处理模块和时钟模块构成;二次仪表和检测嘴设置在管道外侧,所述MEMS传感器检测模块设置在管道腔内并与检测嘴相连接。该流量计属于全电子微功耗设计,配以独特的整流器,并可电池供电,检测动态范围宽,二次仪表技术可靠性高,便于规模化生产。
申请公布号 CN200975902Y 申请公布日期 2007.11.14
申请号 CN200620034748.4 申请日期 2006.06.27
申请人 四川矽亚科技有限公司 发明人 黄立基;江苏刚;王高峰;邓文红;杨祥友;王俭;阮继亮
分类号 G01F1/86(2006.01) 主分类号 G01F1/86(2006.01)
代理机构 成都赛恩斯专利代理事务所 代理人 肖国华
主权项 1、一种气体质量流量计,包括检测嘴、由MEMS传感器检测模块构成的一次仪表和由微处理器构成的二次仪表,其特征在于,所述二次仪表主要由微控制器模块、输出模块、电源模块、存储模块、信号处理模块和时钟模块构成;所述二次仪表和检测嘴设置在管道外侧,所述MEMS传感器检测模块设置在管道腔内并与检测嘴相连接。
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