超高立式反应器的氮化镓金属有机物化学气相淀积法设备

摘要

本发明提供了一种超高立式反应器的氮化镓金属有机物化学气相淀积法设备，它可以解决现有技术存在的生长的材料高铝组份受限等问题。本发明的技术方案是，所述反应器中的内管直径D和高度H的比值D/H在0.16－0.5之间。由于内管的高度与现有技术相比大为提高，气体喷口离加热体石墨块的距离加长，可以避免来自反应室内加热体的高温热辐射的影响，因而可以外延生长高铝组份的氮化镓材料，实验表明生长的Al组份的材料高达85％。

主权项

1.一种超高立式反应器的氮化镓金属有机物化学气相淀积法设备，包括反应器，底板，进气管，石墨基座，传动机构，其特征在于所述反应器中的内管直径D和高度H的比值D/H在0.16-0.5之间。