发明名称 HIGH TEMPERATURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1853748(A2) 申请公布日期 2007.11.14
申请号 EP20060734854 申请日期 2006.02.13
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 LAKSHMIPATHY, MURALIDHARAN;SARIGIANNIS, DEMETRIUS;HUBBARD, PATRICIA;SCHAEPKENS, MARC;PANT, ATUL
分类号 C23C16/455 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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