METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE AND CHEMICAL USED IN THE SAME,申请号KR20040074894-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE AND CHEMICAL USED IN THE SAME
摘要
申请公布号	KR100775793(B1)	申请公布日期	2007.11.12
申请号	KR20040074894	申请日期	2004.09.18
申请人		发明人
分类号	G03F7/40;H01L21/306;C23F1/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213	主分类号	G03F7/40
代理机构		代理人
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