METHOD FOR MANUFACTURING SIMOX WAFER AND SIMOX WAFER,申请号KR20060052116-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING SIMOX WAFER AND SIMOX WAFER
摘要
申请公布号	KR100775799(B1)	申请公布日期	2007.11.12
申请号	KR20060052116	申请日期	2006.06.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/324;H01L21/265;H01L21/425	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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