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发明名称
METHOD OF ETCHING HIGH ASPECT RATIO FEATURES
摘要
申请公布号
KR100775175(B1)
申请公布日期
2007.11.12
申请号
KR20047006418
申请日期
2004.04.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065;H01L21/00
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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