发明名称 调整量子井顺序增宽波长可调范围之半导体雷射及其方法
摘要 本发明系揭露一种调整量子井顺序增宽波长可调范围之半导体雷射及其方法,其系利用载体分布之均匀度,藉由特定量子井顺序,使电洞和电子进入量子井的分布差异变小,而达到较均匀的载体分布,让各个量子井皆获得载体而提供发光增益,使半导体雷射之波长可调范围扩充的非常宽;此对于光通讯系统的测试极为方便,亦可直接应用于系统中而取代其他多样性的元件,以降低系统整合所需之成本者。
申请公布号 TWI289961 申请公布日期 2007.11.11
申请号 TW092116754 申请日期 2003.06.20
申请人 国立台湾大学 发明人 林清富;苏益信
分类号 H01S5/34(2006.01) 主分类号 H01S5/34(2006.01)
代理机构 代理人 林火泉 台北市大安区忠孝东路4段311号12楼之1
主权项 1.一种调整量子井顺序增宽波长可调范围之半导 体雷射,包括: 一半导体基板;以及 至少二组量子井,其系制作于该半导体基板上,且 每一组量子井的发光波长不同,当(电洞扩散时间+ 电洞捕捉时间)大于(电子扩散时间+电子捕捉时间) ,则该等量子井的排列顺序必须是靠P型半导体侧 的量子井具有较高之二维能阶密度,当(电子扩散 时间+电子捕捉时间)大于(电洞扩散时间+电洞捕捉 时间),则该等量子井的排列顺序必须是靠N型半导 体侧的量子井具有较高之二维能阶密度,以得到较 均匀的载子分布。 2.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 该每一组量子井至少具有一个量子井。 3.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 该每一组量子井的材料组成系为不同者。 4.如申请专利范围第3项所述之半导体雷射,其中, 该每一组量子井的差异若是因为不同的材料组成, 则其二维能阶密度系根据各材料的能带结构计算 而来,取其量子井之第一个量子化能阶的密度。 5.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 该每一组量子井之宽度系为不同者。 6.如申请专利范围第5项所述之半导体雷射,其中, 该每一组量子井的差异若是因为不同的量子井宽 度,则其二维能阶密度系根据该量子井的能阶计算 而来,取其第一个量子化能阶的密度。 7.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 利用该每一组量子井的能阶不同,可将欲发光之波 长以不同类型的多层量井堆叠而成者。 8.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 在该至少二组量子井结构中,系利用以下简单的模 型来判断何种载子为优势载子: 式子中dp(dn)代表电洞(电子)要扩散到量子井所需 移动距离(即分离局限异质结构区域的长度),Dp与Dn 为材料的扩散系数,W是量子井的宽度,dpcp和dn cn是根据量子力学所得到之捕捉时间,故等号右边 的四项时间分别系为:电洞在分离局限异质结构区 域中之扩散时间、电子在分离局限异质结构区域 中之扩散时间、电洞被量子井捕捉的等效时间及 电子被量子井捕捉的等效时间;且为了考虑未被量 子井捕捉的载子堆积在分离局限异质结构区域中, 使得扩散时间加长,必须注意载子的等效捕捉时间 为:量子力学所计算出的捕捉时间乘上一体积比dp( dn)/W;以及将该式子中的电洞部份时间(电洞扩散+ 电洞等效捕捉时间)系设为电洞由注入该分离局限 异质结构区域到被量子井捕捉进入二维能阶的时 间p,total=p,diffusion +cap,p,与电子由注入该分 离局限异质结构区域到被量子井捕捉进入二维能 阶的时间n,total=n,diffusion+cap,p(电子扩散+电 子等效捕捉时间)相比较,先被捕捉入二维能阶的 为优势载子。 9.如申请专利范围第8项所述之半导体雷射,其中, 若该p,total>n,total,则该电子会较快进入量子井 二维能阶,而形成靠近N型半导体侧具有较高的电 子浓度,而后进入该量子井二维能阶的电洞会大致 依据该电子的分布而做出类似的分布,使二维载子 浓度在靠近N型半导体侧的量子井较高,所以该等 量子井的排列顺序必须是靠近P型半导体侧的量子 井具有较高之二维能阶密度。 10.如申请专利范围第8项所述之半导体雷射,其中, 若该n,total>p,total,则该电洞会较快进入量子井 二维能阶,而形成靠近P型半导体侧具有较高的电 洞浓度,而后进入该量子井二维能阶的电子会大致 依据该电洞的分布而做出类似的分布,使二维载子 浓度在靠近P型半导体侧的量子井较高,所以该等 量子井的排列顺序必须是靠近N型半导体侧的量子 井具有较高之二维能阶密度。 11.如申请专利范围第8项所述之半导体雷射,其中, 该载子在量子井内分布之均匀度,即载子被量子井 捕捉的速率,该量子井的二维能阶密度愈高,其捕 捉载子的能力就愈强,再配合该优势载子的决定, 会影响载子在不同宽度多层量子井内的分布情形 。 12.如申请专利范围第8项所述之半导体雷射,其中, 该二维能阶密度与量子井宽度、量子井之材料组 成有极大的关系,若以不同材料、不同量子井宽度 来设计量子井,其量化能阶差不多时,则二维能阶 密度的差别主要来自实体材料组成时之差异,且能 阶密度会影响量子井捕捉载子的能力,亦会影响二 维载子分布的均匀性。 13.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 该量子井的材料组成系适用于光通讯系统发光频 宽之三五族者。 14.如申请专利范围第1项所述之半导体雷射,其中, 该量子井材料组成的半导体材质系选自二六族元 素、三五族元素及第四族元素的至少其中之一,并 可包含两种或以上的元素成份。 15.一种调整量子井顺序增宽半导体雷射波长可调 范围之方法,包括:提供一半导体雷射,系具有至少 二组量子井结构,且每一组量子井的发光波长不同 ;以及 当(电洞扩散时间+电洞捕捉时间)大于(电子扩散时 间+电子捕捉时间),则该等量子井的排列顺序必须 是靠P型半导体侧的量子井具有较高之二维能阶密 度,当(电子扩散时间+电子捕捉时间)大于(电洞扩 散时间+电洞捕捉时间),则该等量子井的排列顺序 必须是靠N型半导体侧的量子井具有较高之二维能 阶密度,以得到较均匀的载子分布。 16.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,该每一 组量子井至少具有一个量子井。 17.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,该每一 组量子井的材料组成系为不同者。 18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中,该每一 组量子井的差异若是因为不同的材料组成,则其二 维能阶密度系根据各材料的能带结构计算而来,取 其量子井之第一个量子化能阶的密度。 19.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,该每一 组量子井之宽度系为不同者。 20.如申请专利范围第19项所述之方法,其中,该每一 组量子井的差异若是因为不同的量子井宽度,则其 二维能阶密度系根据该量子井的能阶计算而来,取 其第一个量子化能阶的密度。 21.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,利用该 每一组量子井的能阶不同,可将欲发光之波长以不 同类型的多层量井堆叠而成者。 22.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,在该至 少二组量子井结构中,系利用以下简单的模型来判 断何种载子为优势载子: 式子中dp(dn)代表电洞(电子)要扩散到量子井所需 移动距离(即分离局限异质结构区域的长度),Dp与Dn 为材料的扩散系数,W是量子井的宽度,dpcp和dn cn是根据量子力学所得到之捕捉时间,故等号右边 的四项时间分别系为:电洞在分离局限异质结构区 域中之扩散时间、电子在分离局限异质结构区域 中之扩散时间、电洞被量子井捕捉的等效时间及 电子被量子井捕捉的等效时间;且为了考虑未被量 子井捕捉的载子堆积在分离局限异质结构区域中, 使得扩散时间加长,必须注意载子的等效捕捉时间 为:量子力学所计算出的捕捉时间乘上一体积比dp( dn)/W;以及将该式子中的电洞部份时间(电洞扩散+ 电洞等效捕捉时间)系设为电洞由注入该分离局限 异质结构区域到被量子井捕捉进入二维能阶的时 间p,total=p,diffusion+cap,p,与电子由注入该分 离局限异质结构区域到被量子井捕捉进入二维能 阶的时间n,total=n,diffusion+cap,p(电子扩散+电 子等效捕捉时间)相比较,先被捕捉入二维能阶的 为优势载子。 23.如申请专利范围第22项所述之方法,其中,若该 p,total>n,total,则该电子会较快进入量子井二维能 阶,而形成靠近N型半导体侧具有较高的电子浓度, 而后进入该量子井二维能阶的电洞会大致依据该 电子的分布而做出类似的分布,使二维载子浓度在 靠近N型半导体侧的量子井较高,所以该等量子井 的排列顺序必须是靠近P型半导体侧的量子井具有 较高之二维能阶密度。 24.如申请专利范围第22项所述之方法,其中,若该 n,total>p,total,则该电洞会较快进入量子井二维能 阶,而形成靠近P型半导体侧具有较高的电洞浓度, 而后进入该量子井二维能阶的电子会大致依据该 电洞的分布而做出类似的分布,使二维载子浓度在 靠近P型半导体侧的量子井较高,所以该等量子井 的排列顺序必须是靠近N型半导体侧的量子井具有 较高之二维能阶密度。 25.如申请专利范围第22项所述之方法,其中,该载子 在量子井内分布之均匀度,即载子被量子井捕捉的 速率,该量子井的二维能阶密度愈高,其捕捉载子 的能力就愈强,再配合该优势载子的决定,会影响 载子在不同宽度多层量子井内的分布情形。 26.如申请专利范围第22项所述之方法,其中,该二维 能阶密度与量子井宽度、量子井之材料组成有极 大的关系,若以不同材料、不同量子井宽度来设计 量子井,其量化能阶差不多时,则二维能阶密度的 差别主要来自实体材料组成时之差异,且能阶密度 会影响量子井捕捉载子的能力,亦会影响二维载子 分布的均匀性。 27.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,该量子 井的材料组成系适用于光通讯系统发光频宽之三 五族者。 28.如申请专利范围第15项所述之方法,其中,该量子 井材料组成的半导体材质系选自二六族元素、三 五族元素及第四族元素的至少其中之一,并可包含 两种或以上的元素成份。 图式简单说明: 第一图为习知光纤之吸收频谱图。 第二图为量子井之能量与能阶密度关系图。 第三图为A顺序之量子井磊晶结构示意图。 第四图为B顺序之量子井磊晶结构示意图。 第五图为C顺序之量子井磊晶结构示意图。 第六图为三种顺序的量子井结构在外腔型雷射架 构中之临界电流和波长的关系图。 第七图为A顺序之量子井磊晶结构在外腔型雷射架 构中之可调光谱。 第八图为A顺序的量子井结构制作成脊状波导型雷 射二极体在外腔型雷射架构中之临界电流和波长 的关系图。
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