发明名称 镀膜治具及其镀膜载盘
摘要 一种镀膜治具,包括复数个镀膜载盘,该等镀膜载盘可独立使用或形成一直立式的堆叠,每一载盘具有一盘体,在盘体的表面形成一波浪状的构造,且盘体与水平面具有一既定之倾斜角,待镀之工件系置于盘体表面上波浪状构造的凹处。
申请公布号 TWI289609 申请公布日期 2007.11.11
申请号 TW094130864 申请日期 2005.09.08
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 吕明生;施进德;吴清勋
分类号 C23C14/50(2006.01) 主分类号 C23C14/50(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种镀膜载盘,包括一盘体,该盘体的表面系形成 一波浪状的构造,待镀之工件系置于该盘体表面上 波浪状构造的凹处。 2.如申请专利范围第1项所述之镀膜载盘,其中该盘 体与水平面具有一既定之倾斜角。 3.如申请专利范围第2项所述之镀膜载盘,其中该倾 斜角系大于或等于0度且小于或等于75度。 4.如申请专利范围第1项所述之镀膜载盘,其中该盘 体呈多边对称形。 5.如申请专利范围第1项所述之镀膜载盘,其中该盘 体呈环状,具有一内侧圆周以及一外侧圆周。 6.如申请专利范围第5项所述之镀膜载盘,其更包括 一突缘,从该内侧圆周向外延伸并与该盘体呈一既 定之角度。 7.如申请专利范围第6项所述之镀膜载盘,其中在该 突缘的外侧形成一直径较小的缩颈部并在该突缘 的内侧形成一肩部,藉由一镀膜载盘的缩颈部结合 于另一镀膜载盘的肩部,复数个镀膜载盘形成一直 立式的堆叠。 8.一种镀膜治具,包括复数个镀膜载盘,该等镀膜载 盘形成一直立式的堆叠,每一镀膜载盘具有一盘体 ,在该盘体的表面形成一波浪状的构造,待镀之工 件系置于该盘体表面上波浪状构造的凹处。 9.如申请专利范围第8项所述之镀膜治具,其中该盘 体呈环状,并具有一内侧圆周以及一外侧圆周。 10.如申请专利范围第9项所述之镀膜治具,其中该 每一镀膜载盘更具有一突缘,从该内侧圆周向外延 伸并与该盘体呈一既定之角度。 11.如申请专利范围第10项所述之镀膜治具,其中在 该突缘的外侧形成一直径较小的缩颈部并在该突 缘的内侧形成一肩部,藉由一镀膜载盘的缩颈部结 合于另一镀膜载盘的肩部,复数个镀膜载盘形成一 直立式的堆叠。 12.如申请专利范围第8项所述之镀膜治具,其中该 盘体呈多边对称形。 13.如申请专利范围第8项所述之镀膜治具,其中该 盘体与水平面具有一既定之倾斜角。 14.如申请专利范围第13项所述之镀膜治具,其中该 倾斜角系大于或等于0度且小于或等于75度。 图式简单说明: 第1a图为习知的镀膜治具的立体图。 第1b图为第1a图的上视图。 第1c图为第1a图的侧剖视图。 第2a图为本发明之镀膜治具之镀膜载盘的立体图 。 第2b图为第2a图之剖视图。 第3图为复数个镀膜载盘堆叠成一圆柱形之镀膜治 具的示意图。 第4图为本发明之镀膜载盘的平面俯视图。 第5图为本发明之镀膜载盘组合成圆柱形的镀膜治 具的实体照片。 第6图为本发明之镀膜治具装载工件的实体照片。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号