| 主权项 |
1.一种平台涂布机用载台装置,是具备有:沿着搭载 着被处理基板的基板平台面,可朝一轴方向移动的 第一滑块、以可与该第一滑块一起朝向上述一轴 方向移动的方式,被组合在第一滑块,用来将喷嘴 部朝向上下方向驱动的第二滑块的平台涂布机用 载台装置,其特征为: 是以滑动楔形机构,构成上述第二滑块的驱动机构 。 2.如申请专利范围第1项的平台涂布机用载台装置, 其中上述第一滑块,是由线性马达构成的两个驱动 机构所构成,该驱动机构可沿着两支导轨部运行, 两支导轨部是设置成在对应于基板平台的两侧的 位置互相平行地延伸; 上述第二滑块,是由组合在上述两个驱动机构的两 个上述滑动楔形机构所构成; 在两个滑动楔形机构的上下移动部之间,架设着上 述喷嘴部。 3.如申请专利范围第1或2项的平台涂布机用载台装 置,其中上述滑动楔形机构,是具备有:利用马达所 驱动的滚珠螺杆机构、具有第一倾斜面,且藉由上 述滚珠螺杆机构被朝向与平台面平行的方向驱动 的水平移动部、具有与上述第一倾斜面卡合的第 二倾斜面,而藉由上述水平移动部的水平运动而朝 向上下方向运动的上下移动部、以及对上述水平 移动部施加预定的水平方向驱动力的气缸机构。 4.如申请专利范围第2项的平台涂布机用载台装置, 其中上述基板平台是被设置在平台上,上述两支导 轨部、及由上述线性马达所构成的两个驱动机构, 也是设置在上述平台。 5.如申请专利范围第3项的平台涂布机用载台装置, 其中上述基板平台是被设置在平台上,上述两支导 轨部、及由上述线性马达所构成的两个驱动机构, 也是设置在上述平台。 图式简单说明: 第1图是用来说明本发明的平台涂布机用载台装置 中的Z轴驱动机构的构造的侧面图。 第2图是用来说明第1图所示的Z轴驱动机构的主要 部分也就是滑动楔形机构的构造的图面。 第3图是第1图所示的Z轴驱动机构的概略立体图。 第4图是大型基板处理用所提出的平台涂布机用载 台装置的侧面图。 第5图是第4图的载台装置的正面图。 第6图是用来说明平台涂布机的喷嘴部的立体图。 第7图是用来说明第4图的载台装置的Z轴驱动机构 的侧面图及正面图。 第8图是用来说明第4图的载台装置的滑块部的加 速调节时间的时间-速度特性的一个例子的显示图 。 |
