| 主权项 |
1.一种基板收纳容器,是包含:容器本体;用来开关 此容器本体的盖体;以及安装于这些容器本体与盖 体之至少其中一方的贯通孔,且控制对于容器本体 之气体的流通的阀体基板收纳容器,其特征为: 阀体,是由嵌入于贯通孔的气体流通用固定筒、组 合于此固定筒的气体流通用保持筒、内装于这些 固定筒与保持筒之间的弹性逆止阀、以及与此弹 性逆止阀相对向的气体流通用的中盖筒所构成,利 用弹性逆止阀可开关固定筒与中盖筒之其中一方, 当此弹性逆止阀开放时,使气体流通,当弹性逆止 阀关闭时,限制气体的流通。 2.如申请专利范围第1项之基板收纳容器,其中在容 器本体的底部设置贯通孔,在此贯通孔,将阀体作 为气体导入阀或气体排气阀来加以嵌入。 3.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 在贯通孔的周缘部形成肋部而向外方向延伸,在固 定筒形成接触于肋部的周缘部之凸缘,并且在保持 筒形成接触于贯通孔的周缘部之凸缘。 4.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 至少在保持筒与弹性逆止阀的周缘部之间形成气 体流通用的间隙。 5.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 将中盖筒嵌入于保持筒,在这些之间介设气体用过 滤器。 6.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 弹性逆止阀,是至少由隔着间隙内装于固定筒的逆 止阀、与介设于此逆止阀与中盖筒之间的弹性变 形构件所构成,利用逆止阀可开关固定筒的开口部 ,当逆止阀开放时,使气体流通,当逆止阀关闭时,限 制气体的流通。 7.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 弹性逆止阀,是至少由隔着间隙内装于固定筒的逆 止阀、与介设于此逆止阀与固定筒之间的弹性变 形构件所构成,利用逆止阀可开关中盖筒的开口部 ,当逆止阀开放时,使气体流通,当逆止阀关闭时,限 制气体的流通。 8.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 弹性逆止阀,是至少由隔着间隙内装于固定筒的逆 止阀、与此逆止阀用的弹性变形构件所构成,使逆 止阀与弹性变形构件中之其中一方和中盖筒接触, 当逆止阀开放时,使气体流通,当逆止阀关闭时,限 制气体的流通。 9.如申请专利范围第6项之基板收纳容器,其中分别 在弹性逆止阀的逆止阀与中盖筒中之其中一方设 置导引体、而在另一方设置被导引体,这些导引体 与被导引体可滑动地嵌合。 10.如申请专利范围第9项之基板收纳容器,其中将 导引体之剖面作成大致呈凸字形而形成于中盖筒, 被导引体之剖面作成大致呈凹字形而形成于弹性 逆止阀的逆止阀。 11.如申请专利范围第6项之基板收纳容器,其中将 密封构件安装于弹性逆止阀的逆止阀,将此密封构 件变形接触于固定筒或中盖筒的开口部而加以密 封。 12.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 在容器本体的底部设置贯通孔,在此贯通孔立设有 连通于阀体之中空喷嘴塔,在其周壁作成有气体用 的喷出口。 13.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 在容器本体的底部设置贯通孔,在其附近安装偏向 板,将此偏向板形成剖面大致呈L字形,其长片部隔 着间隙与阀体相对向。 14.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 弹性逆止阀,是至少由隔着间隙内装于固定筒的逆 止阀、与嵌入此逆止阀之伸缩自如的蛇腹体所构 成,在蛇腹体的周壁设有流通口,藉由此蛇腹体的 伸缩可开关逆止阀。 15.如申请专利范围第1或2项之基板收纳容器,其中 弹性逆止阀,是至少由隔着间隙内装于固定筒的逆 止阀、与和此逆止阀一体化的弹性裙体所构成,在 逆止阀设置流通口,并且由裙体的周缘部将大致呈 筒状的裙片可弯曲地延伸而嵌入于逆止阀,藉由此 裙体的变形可开关逆止阀。 图式简单说明: 第1图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 分解斜视图。 第2图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 容器本体之底面图。 第3图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 阀体之以第1图的I-I线所切断的状态之分解斜视图 。 第4图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 气体导入阀的断面说明图。 第5图是显示将气体供给至第4图的气体导入阀的 状态之断面说明图。 第6图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 气体排气阀的断面说明图。 第7图是显示由第6图所示的气体排气阀将气体排 气的状态之断面说明图。 第8图是显示本发明之基板收纳容器的实施形态的 气体冲洗用治具的平面说明图。 第9图是显示第8图的气体冲洗用治具的使用状态 之侧面图。 第10图是显示本发明之基板收纳容器的第2实施形 态的气体导入阀之断面说明图。 第11图是显示本发明之基板收纳容器的第2实施形 态的气体排气阀的断面说明图。 第12图是显示本发明之基板收纳容器的第3实施形 态的分解斜视图。 第13图是显示本发明之基板收纳容器的第3实施形 态的容器本体之底面图。 第14图是显示本发明之基板收纳容器的第3实施形 态的阀体之以第12图的II-II线所切断的状态之分解 斜视图。 第15图是显示本发明之基板收纳容器的第3实施形 态的气体导入阀的断面说明图。 第16图是显示将气体供给至第15图的气体导入阀的 状态之断面说明图。 第17图是显示本发明之基板收纳容器的第3实施形 态的气体排气阀的断面说明图。 第18图是显示气体由第17图的气体排气阀流出至外 部的状态之断面说明图。 第19图是显示本发明之基板收纳容器的第4实施形 态的部分断面说明图。 第20图是显示本发明之基板收纳容器的第5实施形 态的部分断面说明图。 第21图是显示本发明之基板收纳容器的第6实施形 态的气体导入阀的断面说明图。 第22图是显示本发明之基板收纳容器的第6实施形 态的气体排气阀的断面说明图。 第23图是显示本发明之基板收纳容器的第7实施形 态的气体排气阀的断面说明图。 第24图是显示本发明之基板收纳容器的第7实施形 态的气体导入阀的断面说明图。 |
