| 主权项 |
1.一种图案检查用感测器,其特征为:具备 第1屏蔽层,在构成与检查对象图案对向的第1层的 上述检查对象图案的检查位置配设有开口部; 检测用图案,从构成第2层的上述检查对象图案检 测出检查信号;及 连接端子,用以将来自上述检测用图案的检测信号 导出外部, 上述检测用图案系从上述第1屏蔽层的开口部领域 至上述连接端子配设领域,配设为与上述第1屏蔽 层绝缘。 2.如申请专利范围第1项之图案检查用感测器,其中 ,未配设有上述第2层的上述检测用图案的部分,系 配设有与上述第1层的第1屏蔽层连接的第2屏蔽层 。 3.如申请专利范围第2项之图案检查用感测器,其中 ,上述各屏蔽层系利用穿通孔相互连接。 4.如申请专利范围第2项之图案检查用感测器,其中 ,除上述第2层外还形成不含上述连接端子配设部 位的第3屏蔽层,上述第3屏蔽层与上述第1及第2屏 蔽层连接。 5.如申请专利范围第4项之图案检查用感测器,其中 ,上述各屏蔽层系利用穿通孔相互连接。 6.如申请专利范围第1项之图案检查用感测器,其中 ,上述检查对象图案系为检查对象基板上的复数图 案,上述开口部系开口于测定位置部分。 7.如申请专利范围第1项之图案检查用感测器,其中 ,在上述各层间配设有绝缘材料。 8.一种检查装置,其特征为: 备有如申请专利范围第1至7项中任一项之图案检 查用感测器,且将上述图案检查用感测器的屏蔽层 控制在接地位准, 并具备 供给机构,具备将检查信号供给于上述检查对象图 案的检查信号供给部; 检测机构,藉由上述如申请专利范围第1至7项中任 一项之图案检查用感测器的连接端子检测出由上 述供给机构所供给的上述检查信号;及 检查机构,藉由上述检测机构的检测结果检查由上 述供给机构所供给的检查对象图案的良否。 9.如申请专利范围第8项之检查装置,其中,上述检 查信号供给部利用非接触将检查信号供给于上述 检查对象图案。 10.如申请专利范围第8项之检查装置,其中,上述供 给机构具备 使上述检查信号供给部在上述检查对象图案上移 动的检查信号供给部移动机构。 11.如申请专利范围第8项之检查装置,其中,上述供 给机构具备 使上述检查信号供给部在上述检查对象图案上移 动,同时,使上述检查信号供给部接触于检查对象 图案的检查信号供给部移动机构。 12.一种检查方法,系为将具备如申请专利范围第1 至7项中任一项之图案检查用感测器的屏蔽层设为 接地位准的检查装置的检查方法,其特征为: 具备 将上述申请专利范围第1至7项中任一项之图案检 查用感测器,以开口部成为上述检查对象图案的测 定位置部分的方式进行位置定位的定位步骤; 将检查信号供给于上述检查对象图案的供给步骤; 藉由上述申请专利范围第1至7项中任一项之图案 检查用感测器的连接端子检测出在上述供给步骤 所供给的上述检查信号的检测步骤;及 藉由上述检测步骤的检测结果检查在上述供给步 骤所供给的检查对象图案的良否的检查步骤。 图式简单说明: 图1为说明本发明之一发明实施形态例的图案检查 用感测器的构造图。 图2为显示本实施形态例之一通道的感测器检查安 装有CSP封装体的球栅部的情况的图案检查用感测 器的一例图。 图3为说明使用图2所示感测器的情况的检查结果 例所使用的说明图。 图4为说明本实施形态例的检查装置的具体构成例 所使用的方块图。 图5为显示习知的图案检查用感测器的构造图。 图6为实际设计感测器时的感测器与检查对象基板 的位置关系说明用的图。 |
