摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам формирования квантовых точек на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность формирования квантовых точек заданной геометрической формы на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство формирования квантовых точек на подложке, содержащее трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область, согласно предложенной полезной модели, снабжено жесткой платформой, закрепленным на ней источником лазерного излучения, на наружной цилиндрической поверхности источника лазерного излучения установлена втулка, внутри которой закреплена фокусирующая линза с возможностью осевого перемещения, устройство дополнительно снабжено источником регулируемого потенциала на поверхности подложки. Введение в устройство для формирования квантовых точек на подложке жесткой платформы, с закрепленным на ней источником лазерного излучения, на наружной цилиндрической поверхности источника лазерного излучения установленной втулкой, внутри которой закреплена фокусирующая линза, с возможностью осевого перемещения, а так же источника регулируемого потенциала на поверхности подложки, обеспечивает возможность формирования квантовых точек заданной геометрической формы на подложке.</p> |