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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS IMMERSION DAMAGE CONTROL
摘要
申请公布号 KR100775542(B1) 申请公布日期 2007.11.09
申请号 KR20070080482 申请日期 2007.08.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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