| 发明名称 |
INTEGRIERTE MIKROWELLENSCHALTUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69737211(T2) |
申请公布日期 |
2007.11.08 |
| 申请号 |
DE1997637211T |
申请日期 |
1997.03.17 |
| 申请人 |
THE WHITAKER CORP. |
发明人 |
BOLES, EDWARD;GOODRICH, LEE |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/48;H01L23/66;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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