| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Substraten durch Aufdampfen mittels eines PVD-Verfahrens |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59914510(D1) |
申请公布日期 |
2007.11.08 |
| 申请号 |
DE19995014510 |
申请日期 |
1999.03.29 |
| 申请人 |
ANTEC SOLAR ENERGY AG |
发明人 |
GEGENWART, RAINER DR.;RICHTER, HILMAR DR. |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/06;H01L31/04 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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