| 发明名称 |
TEILCHENSTRAHLVORRICHTUNG MIT GEKIPPTER SÄULE UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DERSELBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69937188(D1) |
申请公布日期 |
2007.11.08 |
| 申请号 |
DE19996037188 |
申请日期 |
1999.02.09 |
| 申请人 |
FEI CO. |
发明人 |
LIBBY, CHARLES J.;WARD, BILLY W. |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01J37/30;H01L21/263 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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