发明名称 POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING PATTERN, AND ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 KR100774672(B1) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 KR20067006509 申请日期 2006.04.04
申请人 发明人
分类号 G03F7/023;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/311 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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