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发明名称 METALL-ZU-METALL-ANTIHAFTSTRUKTUR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60126837(T2) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 DE2001626837T 申请日期 2001.12.13
申请人 ACTEL CORP. 发明人 WANG, DANIEL
分类号 H01L23/52;H01L23/525;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L23/532 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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