发明名称 Photodetektoranordnung, Messanordnung mit einer Photodetektoranordnung und Verfahren zum Betrieb einer Messanordnung
摘要 Eine Photodetektoranordnung (1) umfasst einen Halbleiterkörper (2) mit einem Substrat (2), einer ersten Schicht (11) an einer ersten Hauptfläche (10) des Halbleiterkörpers (1) und einer zweiten Schicht (21) an einer zweiten Hauptfläche (20) des Halbleiterkörpers (1). Die zweite Hauptfläche (20) ist zu der ersten Hauptfläche (10) entfernt. Ein erster und ein zweiter Messanschluss (24, 25) sind an der zweiten Hauptfläche (20) auf der zweiten Schicht (21) randseitig in voneinander entfernt liegenden Bereichen angeordnet und sind zur elektrischen Kontaktierung der zweiten Schicht (21) von außerhalb des Halbleiterkörpers (1) ausgebildet. Ein erster und ein zweiter Transistor (45, 46) koppelt die zweite Schicht (21) mit dem ersten beziehungsweise dem zweiten Messanschluss (24, 25).
申请公布号 DE102006013460(B3) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 DE200610013460 申请日期 2006.03.23
申请人 PRUEFTECHNIK DIETER BUSCH AG 发明人 LYSEN, HEINRICH
分类号 H01L31/102;G01B11/03;H01L27/144 主分类号 H01L31/102
代理机构 代理人
主权项
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