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发明名称 Mikromechanischer elektrostatischer Resonator
摘要
申请公布号 DE602004004484(T2) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 DE200460004484T 申请日期 2004.11.25
申请人 SEIKO EPSON CORP. 发明人 KIHARA, RYUJI;NAKAJIMA, TAKUYA;FURUHATA, MAKOTO
分类号 H03H9/00;B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;H02N1/00;H02N2/00;H03H3/007;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/24 主分类号 H03H9/00
代理机构 代理人
主权项
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