发明名称
摘要
申请公布号 JP2007531858(A) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 JP20070503493 申请日期 2005.03.16
申请人 发明人
分类号 F27B9/20;F26B13/20;H01L21/683 主分类号 F27B9/20
代理机构 代理人
主权项
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