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发明名称 SYSTEM FOR TRANSPORTING SUBSTRATE TRANSPORT CONTAINER, AND METHOD FOR MAINTAINING CLEARNESS OF A SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100774018(B1) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 KR20000038596 申请日期 2000.07.06
申请人 发明人
分类号 B65D85/00;B65G49/00;H01L21/673 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
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