发明名称 | 石英波片厚度的测量装置和测量方法 | ||
摘要 | 一种石英波片厚度的测量装置和测量方法,该装置由装置主体、接口卡和计算机构成,所述的装置主体包括激光束、该激光束经光束引导镜分成透射光束和反射光束,在透射光束方向是监测器,在反射光束方向依次是起偏器、待测波片置放台、检偏器和检测器,所述的监测器、待测波片置放台、检偏器和检测器通过屏蔽电缆经接口卡与计算机相连接。利用本发明装置可对石英波片厚度进行自动测量,该测量方法不需要预先确定石英波片光轴方向,只需要一种波长的激光光源,就能以较高的测量精度和速度测出所处实际环境温度下波片的厚度。并可给出该波片任一波长和环境温度下的相位延迟量。 | ||
申请公布号 | CN101067549A | 申请公布日期 | 2007.11.07 |
申请号 | CN200710041787.6 | 申请日期 | 2007.06.08 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 欧阳斌;林礼煌;张秉钧 |
分类号 | G01B11/06(2006.01) | 主分类号 | G01B11/06(2006.01) |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 1、一种石英波片厚度的测量装置,其特征在于该装置由装置主体(1)、接口卡(2)和计算机(3)构成,所述的装置主体(1)包括激光束(1-1),该激光束(1-1)经光束引导镜(1-2)分成透射光束和反射光束,在透射光束方向是监测器(1-3),在反射光束方向依次是起偏器(1-4)、待测波片置放台(1-5)、检偏器(1-6)和检测器(1-7),所述的监测器(1-3)、待测波片置放台(1-5)、检偏器(1-6)和检测器(1-7)通过屏蔽电缆经接口卡(2)与计算机(3)相连接。 | ||
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