侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯

摘要

本发明公开了一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯；涉及一种光探测器。该管芯是在掺铁的半绝缘半导体InP衬底(1)上，通过有机金属化学汽相淀积技术，沿着垂直方向逐次生长缓冲层(2)、下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7)，通过刻蚀技术，使之形成孤岛状上、下两个台形部分；上台形部分包括下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7)，其水平面为(半椭圆-矩形-半椭圆)形状；下台形部分是缓冲层(2)，为矩形形状。最后通过解理的办法，把连体管芯一分为二。该管芯具有结构简单、体积小、进光平面解理容易、芯区面积可微调、组装耦合方便、和共面波导连接兼容等特点。

主权项

1、一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯，其特征在于：在半绝缘InP衬底(1)上，依次为缓冲层(2)、下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7)；该管芯由上、下两个台形部分组成；上台形部分包括下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7)，其水平面为半椭圆-矩形-半椭圆形状；下台形部分是缓冲层(2)，其水平面为矩形形状；其电极(8)和共面波导连线兼容；最后通过解理的办法，把连体式双管芯一分为二。