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发明名称 Cleaning apparatus
摘要
申请公布号 EP0837493(B8) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP19970118186 申请日期 1997.10.20
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HAMADA, SATOMI;MAEKAWA, TOSHIRO;TAKEUCHI, TOSHIYA
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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