| 发明名称 | 用于检查玻璃基底的边缘缺陷和变色的装置和方法 | ||
| 摘要 | 提供一种检测边缘缺陷和变色的装置和方法。该装置包括：加载单元，传送用于制造薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基底；检查单元，用于检查由加载单元传送的玻璃基底的边缘缺陷和变色；控制单元，用于控制加载单元和检查单元。所述边缘缺陷和变色检查装置能够在制造薄膜晶体管液晶显示器的处理期间自动执行玻璃基底的边缘缺陷和变色检查。此外，可将该边缘缺陷和变色检查装置设置在沉积、蚀刻和溅射处理之间，以实时地确认玻璃基底是好的还是坏的，从而执行经济而快速的处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101069118A | 申请公布日期 | 2007.11.07 |
| 申请号 | CN200680001286.9 | 申请日期 | 2006.02.27 |
| 申请人 | 塞米西斯科株式会社 | 发明人 | 李淳钟;禹奉周 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | G02F1/13(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;李云霞 |
| 主权项 | 1、一种检查边缘缺陷和变色的装置，包括：加载单元，传送用于制造薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基底；检查单元，用于检查由加载单元传送的玻璃基底的边缘缺陷和变色；控制单元，用于控制加载单元和检查单元。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||