精密加工设备的提高重复精度的工件台结构及方法

摘要

本发明公开了一种提高重复精度的工件台结构及方法，涉及高精度加工设备领域。该工件台结构的运动平台固装有x、y向零位磁铁，基准平面上固装有x、y1、y2向零位传感器，y1、y2向零位传感器在x向相隔固定距离。该方法包括：将运动平台运动至特定位置，取背景磁场强度；运动平台运动到名义零点位置(x，y1)，搜索x向与y向的零高斯点；运动平台静止于(x′，y1′)点，以此位置为基准，沿x向相对该基准运动固定距离至名义y2零点传感器位置处，进行零高斯点搜索；计算偏转角度；运动平台在rz反方向运动该角度；重新搜索零点位置；计算测量系统当前所需偏置。与现有技术相比，本发明有效保证了运动平台的高重复精度，有效降低后续运算处理负担。

主权项

1.一种精密加工设备的提高重复精度的工件台结构，其包括运动平台和基准平面，其特征在于，运动平台上表面固装有x向零位磁铁、y向零位磁铁，基准平面上固装有x向零位传感器、y1向零位传感器、y2向零位传感器，且所述的y1向零位传感器与y2向零位传感器在x向相隔固定距离。