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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A HERMETIC CHAMBER WITH ELECTRICAL FEEDTHROUGHS
摘要
申请公布号 EP1851791(A2) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP20060718199 申请日期 2006.01.13
申请人 CARDIOMEMS, INC. 发明人 O'BRIAN, DAVID;CROS, FLORENT;PARK, JIN WOO;FONSECA, MICHAEL;YOU, LIANG;ALLEN, MARK
分类号 H01L21/66;H01L21/00;H01L21/44;H01L21/50;H01L23/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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