主要由全氟烷氧基构成的科里奥利流量计的制造

摘要

本发明涉及一种用于测量具有超高纯度的加工材料流的科里奥利质量流量计(100)。这通过利用一种不从科里奥利质量流量计将离子传送到流过流量计的加工材料流的PFA塑料制成整个科里奥利质量流量计来实现。

主权项

1.一种用于测量具有超高纯度的加工材料流的科里奥利质量流量计，所述科里奥利质量流量计包括：基座(101)；适于接收所述加工材料流的流管装置(102)；所述流管装置的端部与所述基座相连，以形成在所述端部处的固定节点；与所述流管装置相连的驱动器(D)，所述驱动器用于使包含所述加工材料流的流管装置振动；与所述流管装置相连的传感器设备，所述传感器设备用于产生表示由含有所述加工材料流的所述振动的流管装置所感生的科里奥利偏差的信号；从所述传感器设备接收所述信号并产生关于所述加工材料流的输出信息的测量计电子器件(121)；以及其特征在于，包括所述流管装置的所述科里奥利质量流量计的整个湿润的流动路径是由从所述流管装置到所述加工材料具有少量离子传送或不具有离子传送的一种材料制成的。