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发明名称
摘要
申请公布号	JP4002659(B2)	申请公布日期	2007.11.07
申请号	JP19980051669	申请日期	1998.03.04
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;G11B5/39;C22C1/04;C22C5/00;C22C5/04;C22C22/00;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18;H01L43/12	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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