| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATION A SHALLOW TRENCH ISOLATION STRUCTURE WITH OXIDE SIDEWALL SPACERS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1851793(A1) |
申请公布日期 |
2007.11.07 |
| 申请号 |
EP20060720742 |
申请日期 |
2006.02.15 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
LARSEN, BRADLEY, J. |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/311;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
