| 发明名称 | 半导体基片保护装置 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种方法和装置，用于在生产界面中保护基片免于损坏。在一实施例中，在生产界面中防止基片损坏的方法包括以下步骤：获取可能导致基片损坏的信息；根据获取的信息，自动保护基片，使其不会移出基片储存盒。其中所获取的信息可以是一地震预警信号。在另一实施例中，在生产界面中防止基片损坏的方法包括以下步骤：沿第一方向移动基片储存盒密封门到与储存盒临近，且保持一定间隔的位置；沿第二方向横向移动密封门关闭储存盒。储存盒密封门的横向关闭动作可促使位移的基片返回到储存盒内限定的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN100347811C | 申请公布日期 | 2007.11.07 |
| 申请号 | CN03821419.9 | 申请日期 | 2003.07.17 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | 赵圣民;彼得·瑞马;文森·威德 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1、一种方法，其特征在于可在生产界面内防止基片损坏，包括获取可能导致基片损坏的信息；以及根据获取的信息，自动保护基片，使其不会移出基片储存盒。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||