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发明名称
摘要
申请公布号 JP4004357(B2) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 JP20020249972 申请日期 2002.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/861;H01L21/329 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
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