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发明名称 METHOD OF FORMING VIAS IN SILICON CARBIDE AND RESULTING DEVICES AND CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP1851787(A1) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP20060721027 申请日期 2006.02.22
申请人 CREE, INC. 发明人 ZOLTAN, RING;SHEPPARD, SCOTT THOMAS;HAGLEITNER, HELMUT
分类号 H01L21/04;H01L21/335;H01L21/768 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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