| 发明名称 | 无机/有机薄膜的沉积方法 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种向基底涂覆混合涂层的方法。本发明的涂层是由无机成分和有机成分形成的。因此，该涂层具有混合性能，尤其是硬度的优点结合了柔韧性。本发明还描述了制备混合涂层的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN100347335C | 申请公布日期 | 2007.11.07 |
| 申请号 | CN03802311.3 | 申请日期 | 2003.01.17 |
| 申请人 | 荷兰应用科学研究会(TNO);艾恩德霍芬技术大学 | 发明人 | 约安内斯·莱昂纳德·林登;格雷戈里·罗伯特·奥尔科特;爱德华·阿洛伊斯·热拉尔·阿梅尔;毛里蒂乌斯·科内利斯·玛丽亚·范德桑登 |
| 分类号 | C23C16/517(2006.01);C23C16/452(2006.01);C23C16/50(2006.01) | 主分类号 | C23C16/517(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 1.一种向基底涂覆混合涂层的方法，该涂层包含无机和有机成分，所述无机成分包含纳米颗粒，这些成分的前体在一个或多个用于等离子体活化的化学气相沉积的等离子体源中被活化，其中在将活化的前体从用于形成涂层的化学气相沉积到基底上之前，将它们相互结合，其中所述无机成分在高电子密度高频等离子体中产生，并且其中所述高电子密度高频等离子体是脉冲的。 | ||
| 地址 | 荷兰代尔夫特 | ||