发明名称 PROJECTING DEVICE FOR PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 CA698080(A) 申请公布日期 1964.11.17
申请号 CAD698080 申请日期
申请人 C. P. GOERZ AMERICAN OPTICAL CO. 发明人 HEINRICH GIESECKE
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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