SF<SUB>6</SUB>气体回收提纯方法及回收提纯罐

摘要

本发明涉及一种SF₆气体回收提纯方法及回收提纯罐，对进入SF₆气体回收提纯罐中的SF₆气液共同体，在SF₆气体回收提纯罐内进行气液分离并对液态部分降温，使溶解于其中的N₂、O₂和CO₂析出，罐体通过隔板分为上下两部分，在隔板上开有通道，在通道上设有通过手柄和阀杆控制通道开合和关闭的阀门，在罐体上部分中设有球阀控制的抽真空口，在罐体的下部分中设有由冷冻剂进口到冷冻剂出口管道系统组成的冷冻机组，并开有SF₆气进口，设有加热棒，在下部分罐体上开有SF₆新气出口，在罐体下部分中还设有温度变送器，具有高回收率、高纯度的优点。

主权项

1、一种SF6气体回收提纯方法，其特征在于：对进入SF6气体回收提纯罐中的SF6气液共同体，在SF6气体回收提纯罐内进行气液分离并对液态部分进行降温，随着温度的降低，使N2、O2和CO2在液态部分中的溶解度降低，溶解于其中的杂质气体N2、O2和CO2析出。