| 发明名称 | 表面检查装置及表面检查方法 | ||
| 摘要 | 本发明的表面检查装置，用于检查板状物体(100)的外周边部所形成的多个面(101a、101b、101c)，包括：对板状物体形成有多个面的外周边部进行摄影的摄影装置(30)；及对通过摄影装置得到的图像进行处理的图像处理装置；摄影装置包括：光学系统(11、12、13)，将板状物体的多个面的像引导到同一方向；及单一的摄像机单元(20)，具有摄像面(20d)并配置成使由光学系统引导到同一方向的多个面的像在摄像面上成像。 | ||
| 申请公布号 | CN101069088A | 申请公布日期 | 2007.11.07 |
| 申请号 | CN200580041177.5 | 申请日期 | 2005.11.30 |
| 申请人 | 芝浦机械电子株式会社;东芝陶瓷株式会社 | 发明人 | 林义典;西风馆广幸;京屋诚;泉妻宏治;长滨弘美;M·清水;浜谷和彦 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01);G01B11/30(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 1、一种表面检查装置，对形成在板状物体的外周边部的多个面进行检查，其特征在于，包括：摄影机构，对上述板状物体的形成有多个面的外周边部进行摄影；及图像处理装置，对利用上述摄影机构所得到的图像进行处理；上述摄影机构包括：光学系统，将上述板状物体的多个面的像引导到同一方向；及单一的摄像机单元，具有摄像面并配置成使通过上述光学系统引导到同一方向上的多个面的像在上述摄像面上成像。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||