发明名称 |
半导体基材构造及其加工方法 |
摘要 |
本发明公开了一种半导体基材构造及其加工方法,方法包括:在基材上加工一穿透孔沟槽;在该穿透孔沟槽内填充高分子复合材料;对该基材表面进行研磨或喷沙;对该基材表面进行表面被覆材料的处理。该半导体基材构造包含有基材,具有穿透孔及沟槽;其中该穿透孔及沟槽内填充有高分子材料及复合材料。本发明具有高平整度及切割不易生毛边的优点,且不易变形,增加了产品封装的良率及品质,而使用发光二极管的芯片或一般IC集成电路芯片封装时,会易于达成电子芯片所需的封装需求,而且比公知的基材构造成本低。 |
申请公布号 |
CN100347837C |
申请公布日期 |
2007.11.07 |
申请号 |
CN200410070706.1 |
申请日期 |
2004.07.21 |
申请人 |
宏齐科技股份有限公司 |
发明人 |
汪秉龙;庄峰辉;黄惠燕 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01);H01L23/12(2006.01);H05K3/00(2006.01);H05K1/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁挥;祁建国 |
主权项 |
1、一种半导体基材的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、在基材上加工一穿透孔沟槽;步骤二、在该穿透孔沟槽内填充高分子复合材料;步骤三、对该基材表面进行研磨或喷沙;及步骤四、对该基材表面进行表面被覆材料的处理。 |
地址 |
台湾省新竹市 |