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发明名称
PLASMA GATE OXIDATION PROCESS USING PULSED RF SOURCE POWER
摘要
申请公布号
EP1851788(A2)
申请公布日期
2007.11.07
申请号
EP20060719971
申请日期
2006.01.30
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
CHUA, THAI, CHENG
分类号
H01L21/31;H01L21/469
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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