发明名称 PLASMA GATE OXIDATION PROCESS USING PULSED RF SOURCE POWER
摘要
申请公布号 EP1851788(A2) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP20060719971 申请日期 2006.01.30
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHUA, THAI, CHENG
分类号 H01L21/31;H01L21/469 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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