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发明名称 High-K gate oxides with buffer layers of titanium for mfos single transistor memory applications
摘要
申请公布号 EP1308993(A3) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP20020024051 申请日期 2002.10.28
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 LI, TINGKAI;HSU, SHENG TENG;ULRICH, BRUCE DALE;HORN STECKER, LISA
分类号 C23C16/40;H01L21/28;C23C16/02;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/40;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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