一种硅材料微波加热提纯装置

摘要

本实用新型公开了一种硅材料微波加热提纯装置，钢制双层水冷炉壳内壁铺垫有绝热材料层，在所述的钢制双层水冷炉壳内设有可水平转动和上下移动并铺垫有带格子绝热层的托盘，在所述的托盘的格子绝热层上放置坩埚，在所述的钢制双层水冷炉壳内中部设有铺垫有绝热层的隔板，下部设有可上下移动且形状与所述的托盘对应的结晶冷却装置，上部设有与熔化所述的坩埚中盛装的待提纯硅材料量对应的输出功率连续可调的至少一个单管微波源加热装置。本实用新型是一种设备结构简单，容易控制加热惯性和加热均匀性，能在同一装置中有效实现硅熔化、实施去杂加工和定向凝固且环境杂质影响小、能源利用率高、工艺周期短的硅材料微波加热提纯装置。

主权项

1、一种硅材料微波加热提纯装置，其特征在于：钢制双层水冷炉壳内壁铺垫有绝热材料层，在所述的钢制双层水冷炉壳内设有可水平转动和上下移动并铺垫有带格子绝热层的托盘，在所述的托盘的格子绝热层上放置坩埚，在所述的钢制双层水冷炉壳内中部设有铺垫有绝热层的隔板，下部设有可上下移动且形状与所述的托盘对应的结晶冷却装置，上部设有与熔化所述的坩埚中盛装的待提纯硅材料量对应的输出功率连续可调的至少一个单管微波源加热装置。