发明名称 PLASMA CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 EP1850882(A1) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP20060709568 申请日期 2006.01.25
申请人 THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF EDINBURGH 发明人 BAXTER, R.;BAXTER, H.
分类号 A61L2/14;A61L2/12;A61L2/18 主分类号 A61L2/14
代理机构 代理人
主权项
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